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GaN基板の基礎加工技術と次世代型高能率加工プロセスの紹介， GaNウエハ加工の課題と最先端技術， 2022年02月03日
超難加工材料と化合物半導体の高効率超精密加工への挑戦， 半導体・デジタル産業を考える講演会， 2021年10月12日
GaN・ダイヤモンド基板の精密加工と加工変質層の評価， 第154 回 結晶工学分科会研究会， 2021年04月23日
次世代パワーエレクトロニクス半導体材料に関わる超精密加工技術， 研削・研磨盤の高度化専門委員会第26回研究会， 2020年11月10日
X線回折測定を用いたサファイア基板の加工変質層の非破壊検査， 日本機械学会年次大会， 2020年09月13日
機械的研磨加工によって導入されたGaN基板の加工変質層の定量評価， 日本機械学会年次大会， 2020年09月13日
Ir(001)/MgO(001)基板上に成長したヘテロエピタキシャルダイヤモンドの初期成長の表面観察と配向評価， 応用物理学会秋季学術講演会， 2020年09月08日
GaN基板の加工技術， 次世代固定砥粒加工プロセス専門委員会 第87回研究会， 2019年10月04日
Challenges toward prospective precise polishing techniques by fusing environmental controlling and plasma technology， International symposium on Advanced Plasma Science 2019， 2019年03月20日
難加工単結晶素材の研磨加工進行の迅速評価， 日本機械学会 2018年度年次大会， 2018年09月09日
難加工単結晶材料の超精密加工～ファインバブル水を用いた研磨加工事例～， ファインバブル技術講習会， 2018年01月23日
次世代オプトエレクトロニクス単結晶とその超精密加工技術， 接合界面創成技術大191委員会研究会， 2017年11月17日
High Efficiency Surface Planarization of Single Crystal Diamond Substrate by Plasma Fusion Chemical Mechanical Polishing， The 11th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering ， 2017年09月12日
Fabrication of freestanding heteroepitaxial diamond substrate via micropatterns and microneedles， 応用物理学会秋季学術講演会， 2017年09月07日
次世代オプトエレクトロニクス単結晶の精密加工技術とその応用， にいがたナノ基盤技術実践会， 2017年07月03日
Plasma fusion chemical mechanical polishing as a next generation processing technology and its applications to SiC, GaN, and diamond substrates， The 10th MIRAI Conference， 2017年06月28日
GaN基板のプラズマ融合CMPプロセス ～ エタノールバブリング・Arプラズマを用いたプラズマ融合CMP特性とその評価 ～， 有機エレクトロニクス/シリコン材料・デバイス研究会， 2017年04月21日
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